关键词：离子注入表面改性
2026年8月14日，由中核同创(成都)科技有限公司(以下简称：中核同创)研制的多功能表面改性装置设备正式启运交付。这台多功能表面改性装置设备，选用中核同创自主知识产权的高能金属离子源、气体离子源及配套的单级脉冲磁控源电源和直流叠加脉冲偏压电源，可开展离子注入表面改性、金属表面合金化、非金属表面金属化、辅助加热等工艺作业，可同时实现气体离子源清洗、辅助沉积处理，通过直流叠加脉冲偏压电源可实现等离子体定向功能，在加速沉积效...
2026-08-15
