日本东北大学与理学公司设立X射线计量共创研究所

日本东北大学与理学控股集团旗下理学公司近日宣布，双方已于2026年8月1日在东北大学内设立“理学・东北大学X射线计量共创研究所 Beyond The Limits”，并启动联合研究。该研究所设立期限为3年，至2029年7月31日止，后续将根据研究成果考虑是否延长。

据介绍，新研究所将围绕X射线计量技术升级、新型计量方法建立以及下一代研究人员培养开展工作。随着半导体器件持续小型化、多层化和多材料化，制造流程日益复杂，对材料和结构进行高精度、非破坏性评价的需求不断增加。现有计量方法在微细结构评价、深度方向结构精确解析等方面面临限制，推动软X射线等新方法研发成为重要方向。

研究所将利用东北大学校内下一代放射光设施“NanoTerasu”在软X射线领域的优势，开发面向微细结构的计量技术，并结合东北大学信息科学研究基础与理学公司的X射线计量经验，推进数据解析方法升级。双方表示，研究不会局限于单一课题，而将面向需要X射线计量的不同领域和对象，探索传统技术难以解决的测量问题。

在初期阶段，研究所将优先推动半导体领域软X射线计量实用化，以及利用信息科学提升数据分析能力。相关成果未来还计划扩展至电子材料、功能材料等需要精准掌握微细结构和材料状态的领域。

人才培养也是该研究所的重要任务。双方计划提供覆盖X射线计量基础、新材料和新结构应用的系统学习机会，并考虑将相关内容引入可取得学分的正式课程。同时，理学公司将设立奖学金制度，面向从事X射线相关研究课题的研究生提供资助，支持其将研究成果形成学位论文，并推动相关成果向实用计量技术转化。